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力士樂導(dǎo)軌滑塊

產(chǎn)品知識

力士樂直線導(dǎo)軌半導(dǎo)體加工要用的技術(shù)

發(fā)布日間:2017-07-06 08:30:51   瀏覽次數(shù):22

    一、化學(xué)機(jī)械拋光
  力士樂直線導(dǎo)軌精密研磨的實(shí)現(xiàn)是由轉(zhuǎn)臺軸承布置來保證的。
  對于推力角接觸球軸承單元ZKLDF的生產(chǎn)過程,INA的精密度是****的:P4 精度。這是加工完成的軸承單元幾何和運(yùn)轉(zhuǎn)精度的范圍。我們在很*的精度范圍內(nèi)進(jìn)行精密磨削,因此,您可以隨后在納米范圍內(nèi)進(jìn)行研磨和拋光操作。
  *速研磨和拋光臺的低振動軸承布置方案采用INA的轉(zhuǎn)臺軸承總能令您獲益。由于幾何尺寸穩(wěn)定和單一外圈而提*了整體剛度和精度是整體解決方案的一個優(yōu)點(diǎn)。其他令人信服的優(yōu)點(diǎn)包括例如,由于內(nèi)圈和外圈法蘭裝配而易于安裝的優(yōu)點(diǎn),和很*的*限轉(zhuǎn)速。
  *后但不是*不重要的,成本也是您不可忽視的因素……我們提供的轉(zhuǎn)臺軸承在生產(chǎn)過程中設(shè)定了特定預(yù)載,并且僅需要用螺栓簡單安裝,而不需要進(jìn)行額外的調(diào)整工作。
  二、拉單晶
  需求:可靠的運(yùn)動過程
  在圓晶片離開生產(chǎn)線之前,單晶硅必須經(jīng)過無數(shù)次工藝操作……從單晶硅拉伸工藝開始。
  單晶硅拉伸機(jī)械需要無振動、穩(wěn)定一致的進(jìn)給運(yùn)動。對此INA能做些什么?
  滿足這些需求的定制方案,例如,我們免維修的四列直線球軸以及導(dǎo)軌組件KUVE。穩(wěn)定一致的低移動阻力允許它們在*低速情況下實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定一致的精確和恒速進(jìn)給,而這正是硅棒拉伸所必需的。
  三、晶片切割
  *精度晶片在加工過程中,硅棒導(dǎo)軌立即與鋸床接觸,例如栓孔鋸。在這一應(yīng)用中,您可以找到INA的微型四列滾珠直線導(dǎo)軌組件KUME 。
  多仞鋸的進(jìn)料區(qū)域的工況十分惡劣。由碳化硅和脂組成的混合物漿液是切割過程中所需的,但卻降低了所有部件的壽命。所幸的是,INA提供的KUME導(dǎo)軌具有標(biāo)準(zhǔn)的防腐設(shè)計。
  因此,您有成百上千的理由為切片鋸選擇INA的微型導(dǎo)軌系統(tǒng):*剛性*精度,均勻一致的低移動阻力,以及可經(jīng)端蓋潤滑。另外,您還可以達(dá)到比之采用傳統(tǒng)直線導(dǎo)軌系統(tǒng)好的多的成本效益。我們給您提供的是預(yù)載的、即用即裝的單元。
  個栓孔鋸以及切片鋸,必須支持大量直線和旋轉(zhuǎn)形式的不同運(yùn)動。INA提供技術(shù)和經(jīng)濟(jì)上優(yōu)化的所有解決方案——從單一制造商獲得的完整解決方案。
  針對該領(lǐng)域INA其他的軸承布置,包括滾針軸承——針對例如在切片鋸中的*剛性滾子軸承或是轉(zhuǎn)盤軸承。
  光刻
  適用于X——Y軸工作臺的*精密直線導(dǎo)引系統(tǒng)
  為了在芯片上創(chuàng)建結(jié)構(gòu),晶片表面鍍上了一層薄的感光材料。感光材料通過掩膜并在光照射時分解。
  下一代的半導(dǎo)體生產(chǎn)的目標(biāo)將會是生產(chǎn)出低于60nm的結(jié)構(gòu)從而達(dá)到更*存儲密度以及更快的開關(guān)速度。
  通過直線電機(jī)驅(qū)動的X-Y坐標(biāo)工作臺移動基片以及投影掩模。機(jī)器固定在一個剛性且隔振的大理石基座上,并且采用*精度的導(dǎo)軌系統(tǒng),例如INA的直線滾子軸承和導(dǎo)軌組件RUE。*低噪音的導(dǎo)引系統(tǒng)特點(diǎn)是其均一的運(yùn)轉(zhuǎn)和位移阻力——為了實(shí)現(xiàn)*的定位精度和重復(fù)定位精度。

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